高真空泵都有前级耐压的限制，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。但如在高低真空泵之间再连接一台中真空泵，便可起到承上启下的作用，流量连续，而且各泵皆可工作状态。因此往往必须由一套真空机组来完成，即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。