罗茨真空泵

罗茨真空泵一般分成两大类，一类为干式罗茨真空泵，一类为湿式罗茨真空泵。湿式罗茨真空泵不配前级泵，而干式罗茨真空泵则需要配前级泵组成机组。所以，在谈到运行时，必然要联系到罗茨真空泵机组。

罗茨真空泵不能单独使用，必须配上前级泵组成机组，使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力，由于罗茨真空泵的压缩比是有限的，所以选择前级真空泵的抽速是相当重要的。

罗茨真空泵的特点是：启动快，耗功少，运转维护费用低，抽速大、效率高，对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感，在100～1帕压力范围内有较大抽气速率，能迅速排除突然放出的气体。